隨著電子信息產(chǎn)業(yè)的迅速開展，其癥結(jié)原資料光敏劑的市場(chǎng)需求越來(lái)越大。光敏劑是光刻膠產(chǎn)品消費(fèi)中最重要的中心原料之一，消費(fèi)的光刻膠普遍應(yīng)用于光電信息產(chǎn)業(yè)的微細(xì)圖形線路的加工制造，是微細(xì)加工技巧的癥結(jié)性資料。

半導(dǎo)體材料廢水起源，重要是光刻膠和精致化學(xué)產(chǎn)業(yè)鏈相關(guān)產(chǎn)品，廢水中重要凈化物為鹽分、COD、苯、甲苯、石油類、總氮等凈化物，分為高濃度有機(jī)廢水、低濃度有機(jī)廢水、高鹽廢水等。關(guān)于高濃度有機(jī)廢水先進(jìn)行預(yù)處理方能進(jìn)行后續(xù)生化處理，高鹽廢水需進(jìn)行脫鹽處理前方能進(jìn)入后續(xù)生化處理。關(guān)于低濃度廢水可與經(jīng)過(guò)預(yù)處理后的高濃度廢水和高含鹽廢水混雜落后行生化處理。經(jīng)過(guò)生化處理后的廢水還需進(jìn)行深度處理確保達(dá)標(biāo)前方能排放。因而，半導(dǎo)體資料污水處理站的總體工藝為預(yù)處＋UASB＋A/O＋氧化積淀。

半導(dǎo)體材料廢水處理工藝：

（一）高濃度有機(jī)廢水預(yù)處理：

因?yàn)楦邼舛扔袡C(jī)廢水有機(jī)物濃度高，可生化性差，為便于后續(xù)的生化處理，擬對(duì)其進(jìn)行預(yù)處理。依據(jù)廢水水質(zhì)特征，擬采取氣�。�鐵碳微電解＋Fenton氧化處理。

（1）氣浮工藝：

斟酌到半導(dǎo)體資料廢水中含有肯定的石油類物資及懸浮物，氣浮池重要是應(yīng)用少量微氣泡撲捉吸附渺小顆粒膠黏物使之上浮，到達(dá)固液分別的后果。在氣浮池中投加破乳劑等使廢水中的石油類物資破乳、油脂上浮，從而到達(dá)除油的目標(biāo)。經(jīng)氣浮池處理后水中COD 的去除率可以到達(dá)10%，SS 的去除率可以到達(dá)80％。

（2）鐵碳微電解＋Fenton氧化：

鐵碳微電解因其具備應(yīng)用規(guī)模廣、處理后果好、應(yīng)用壽命長(zhǎng)、老本昂貴及操作保護(hù)不便等長(zhǎng)處，被普遍用于染料消費(fèi)廢水、農(nóng)藥廢水、醫(yī)藥廢水及電鍍廢水的管理。鐵屑和炭造成了許多渺小的原電池，反映生成的重生態(tài)的【H】等具備很高的活性，可以跟廢水中多種組分發(fā)作氧化復(fù)原反映。但鐵碳微電解獨(dú)自處理高濃度有機(jī)廢水的才能有限，聯(lián)合Fenton試劑對(duì)其處理后果進(jìn)行強(qiáng)化可大大改良對(duì)有機(jī)物的去除后果，過(guò)氧化氫與二價(jià)鐵離子的混雜溶液造成Fenton試劑，具備強(qiáng)氧化性，氧化后果明顯�？梢詰�(yīng)用Fe－C組成的無(wú)數(shù)微電池作為復(fù)原體系將廢水中的有機(jī)物復(fù)原、損壞掉；因?yàn)槲㈦娊鈿v程發(fā)作Fe（Ⅱ），催化H2O2生成強(qiáng)氧化性的·OH，進(jìn)而氧化損壞有機(jī)物；在這個(gè)歷程中Fe（Ⅲ）的絮凝作用可以節(jié)儉H2O2的應(yīng)用量，下降處理老本。

因而，選用鐵炭微電解＋Fenton作為高濃度有機(jī)物的預(yù)處理工藝，可以進(jìn)步處理后果，使難降解有機(jī)物進(jìn)一步斷鏈、開環(huán)，進(jìn)步廢水可生化性。經(jīng)鐵炭微電解＋Fenton處理后，廢水中COD、SS、甲苯的去除率分手可以到達(dá)50%，60%和80%。 

（二）綜合廢水處理體系：

經(jīng)預(yù)處理后的高鹽廢水和高濃度有機(jī)廢水與其余廢水一同進(jìn)入綜合調(diào)理池，進(jìn)行水質(zhì)和水量的調(diào)理，再經(jīng)UASB＋A/O＋氧化積淀等處理后達(dá)標(biāo)排放。

（1）UASB池

升流式厭氧塔（UASB）結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)樸、廢水處理才能大、廢水處理效力高級(jí)特征。反映塔上部設(shè)有三相分別器。固液混雜液進(jìn)入積淀區(qū)后，污泥發(fā)作絮凝，顆粒逐步增大，并在重力的作用下積淀。積淀在斜壁上的污泥沿著斜壁滑回反映器中，使厭氧區(qū)積攢少量污泥。分別出污泥后的處理水從積淀區(qū)溢流堰上部泥溢流，而后排出。在厭氧反映塔內(nèi)發(fā)作的沼氣回升，當(dāng)遇到反射板時(shí)折向反射板的周圍，而后穿過(guò)水層進(jìn)入氣室，集中在氣室的沼氣用管道導(dǎo)出。

（2）A/O池

A/O池分為缺氧段和好氧段，在缺氧段異養(yǎng)菌將污水中的大分子碳水化合物等懸浮凈化物和可溶性有機(jī)物進(jìn)一步水解為有機(jī)酸，使大分子有機(jī)物進(jìn)一合成為小分子有機(jī)物，不溶性的有機(jī)物轉(zhuǎn)化成可溶性有機(jī)物，當(dāng)這些經(jīng)缺氧水解的產(chǎn)物進(jìn)入好氧池進(jìn)行好氧處理時(shí)，可進(jìn)步污水的可生化性及氧的效力；在缺氧段，異氧菌的反硝化作用將回流的NO3－復(fù)原為分子態(tài)氮（N2）實(shí)現(xiàn)C、N、O在生態(tài)中的循環(huán)，實(shí)現(xiàn)污水無(wú)害化處理。

（3）氧化積淀

為了保障廢水的穩(wěn)固達(dá)標(biāo)，在生化體系出水之后設(shè)置深度處理體系。深度處理單元采取氧化積淀工藝，通過(guò)投加藥劑使廢水中發(fā)作Fenton氧化，進(jìn)一步去除廢水中的有機(jī)物和懸浮物，保障出水穩(wěn)固達(dá)標(biāo)。

半導(dǎo)體材料廢水處理工藝

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